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武漢大學(xué)電氣與自動化學(xué)院、湖北工業(yè)大學(xué)太陽能高效利用及儲能運行控制湖北省重點實驗室、輸配電裝備及系統(tǒng)安全與新技術(shù)國家重點實驗室（重慶大學(xué)）的研究人員李亞龍、張曉星、崔兆侖、肖焓艷、張國治，在2019年第24期《電工技術(shù)學(xué)報》上撰文（論文題目為“NH3對DBD降解SF6影響的試驗研究”）指出，NH3能夠促進SF6分解，提高SF6的降解率和降解效率。

隨著SF6在電力工業(yè)中的大量使用，氣體絕緣設(shè)備產(chǎn)生的SF6廢氣急劇增加，未經(jīng)處理的SF6廢氣會對環(huán)境產(chǎn)生嚴重影響，因此對SF6進行處理就顯得尤為重要。本文基于介質(zhì)阻擋放電（DBD）等離子體技術(shù)在NH3的協(xié)同作用下對SF6進行降解處理。其中，NH3和SF6的體積分數(shù)比為1:1時具有最好的協(xié)同促進作用，90W輸入功率下可以使體積分數(shù)為2%的SF6在50mL/min的流速下降解率達到97.5%；同時NH3參與下也會使SF6分解更加徹底，析出固態(tài)S單質(zhì)、[NH4]2SO4、NH4F和NH4HF2；氣體產(chǎn)物主要有SiF4、SiH4、SO2F2、SO2、SOF4、SOF2、S2F10、SF4及氮氧化物（NOx）等。

SF6因其優(yōu)良的絕緣和滅弧性能備受電力行業(yè)青睞，近年來得到了廣泛的應(yīng)用。同時，SF6具有穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)，不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，排放到大氣的SF6大約需要3200年才能發(fā)生自然分解。SF6因其高溫室效應(yīng)潛在值（Global Warming Potential，GWP）在1997年的《京都議定書》中被列為溫室氣體行列，因近年來由于SF6氣體在電力行業(yè)中大量使用，大氣中的SF6氣體含量急劇上升，對環(huán)境的影響也逐漸顯現(xiàn)出來，因此，對廢棄的SF6氣體進行處理就顯得尤為重要。

國內(nèi)外學(xué)者針對SF6的處理進行了大量研究，目前的處理方式主要有回收循環(huán)再利用、光降解、熱分解、等離子體降解等。其中回收循環(huán)再利用法主要是用回收裝置將SF6氣體壓縮到儲氣罐中，然后通過一系列凈化處理后才能被再次使用，回收裝置價格昂貴且回收處理后的SF6氣體無法達到新氣的標準。

光降解主要采用苯乙烯、polyisoprene等光敏材料，在陽光或紫外光照射下與SF6發(fā)生反應(yīng)，實現(xiàn)分解。光解的產(chǎn)物一般無毒，但是反應(yīng)時間較長，處理效率較低。熱降解主要是用金屬氧化物和金屬磷酸鹽等材料，在800～1200K的高溫條件下對SF6實現(xiàn)熱分解，SF6經(jīng)過熱分解主要產(chǎn)生SO2、SO3、SO2F2和SiF4等產(chǎn)物，熱分解的產(chǎn)物相對可控，但是需要的溫度條件比較高，并且處理速度相對緩慢。

等離子體降解法主要利用等離子體區(qū)域中的活性物質(zhì)與SF6分子作用，使其化學(xué)鍵斷裂形成小的粒子碎片，并與其他粒子結(jié)合成穩(wěn)定的化合物達到降解SF6的目的。常用的等離子體有射頻（Radio Frequency，RF）等離子體、微波（microwave）等離子體、介質(zhì)阻擋放電（Dielectric Barrier Discharge, DBD）等離子體等。

其中，微波放電和射頻放電可以在放電環(huán)境內(nèi)產(chǎn)生熱等離子體，在短時間內(nèi)可以對大量SF6進行分解，但是其設(shè)備相對復(fù)雜，且放電環(huán)境具有一定危險性，不太適合工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用。近年來，介質(zhì)阻擋放電作為一種低溫等離子體放電，因其具有放電結(jié)構(gòu)簡單、放電密度大等特點，被廣泛運用于VOCs等工業(yè)廢氣的處理中。

How等在2004年采用DBD放電對SF6進行分解處理，并研究了外加O2、H2O、C2H4對降解率的影響。Zhuang等在2014年改進了DBD放電反應(yīng)器的結(jié)構(gòu)，提高了SF6處理的效率。Zhang等研究了DBD放電處理SF6、CF4和SF5CF3三種氣體，分析了載氣類型和濕度對降解過程的影響。但目前關(guān)于NH3對DBD等離子體降解SF6的研究尚未見報道。

圖1 DBD等離子體降解SF6試驗平臺示意圖

圖2 DBD等離子體降解裝置簡化圖

圖3 不同體積分數(shù)NH3對SF6降解率的影響

圖4 不同體積分數(shù)NH3參與SF6降解時的能量效率

結(jié)論

NH3作為一種還原性氣體，在降解SF6的過程中加入NH3，能夠在放電區(qū)域內(nèi)與SF6的初級降解產(chǎn)物結(jié)合，有效地阻斷SF6初級分解產(chǎn)物復(fù)合生成SF6的過程。利用上述原理，本文設(shè)計了一套NH3協(xié)同DBD等離子體降解SF6的試驗平臺，研究了NH3對SF6降解率的影響。試驗現(xiàn)象表明，NH3在參與SF6的降解過程中能有效提高SF6的降解率，并在反應(yīng)器壁上析出白色晶體和黃色固體。

1）NH3對SF6的分解有促進作用，極大地提高SF6的降解率。其中，體積分數(shù)為2%的NH3參與下對體積分數(shù)為2%的SF6促進效果最好，在50mL/min流速下，輸入功率為90W時降解率達到了97.5%，能量效率也最高。

2）NH3參與下使SF6降解更加徹底，能夠把硫元素還原為硫單質(zhì)。研究中產(chǎn)生的固體析出物檢測結(jié)果表明固體中含有NH4F、NH4HF、[NH4]2SO4和S單質(zhì)。

3）NH3參與下使SF6降解產(chǎn)物也更加復(fù)雜，對于調(diào)控分解產(chǎn)物的生成速率起很大作用。氣體產(chǎn)物主要有SiF4、SiH4、SO2F2、SO2、SOF4、SOF2、S2F10、SF4以及氮氧化物（NOx）等。